開発実績

投稿者:hisashi

開発実績

• X線小型CT装置
• 高速レビュー装置(G5)
• ウエハ外観検査装置サーマルチャンバー
• 精密座標測定装置 膜厚測定ヘッド
• レーザー反射率計測ユニット
• 近接場入射光　光学
• 微小寸法測定装置